1409专刊--微波等离子化学气相沉积人造金刚石制备系统ARDIS-100
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俄罗斯Optosystems公司制造生产的ARDIS-100微波等离子化学气相沉积人造金刚石生长制备系统适用于人造金刚石多晶、单晶金刚石薄膜以及碳纳米管、纳米线的制备，镀膜，研究和生产。 | |
| ARDIS-100参数： ●MW功率600-6000kWt,fr.2.45Ghz ●供气通道数量4通道，允许气流调节范围0.3-60 l/hr ●气体混合原始气体：H2/CH4, H2/CH4/O2，Ar/H2/CH4参杂气体：N2，B等 ●气处理压力30-250Torr ●基低温度到2500℃ ●生长率Up-6μ/小时（多晶）Up-60μ/小时（单晶） ●可视窗口5个石英窗口 ●真空腔水冷真空不锈钢腔 ●操作系统Windows兼容的CCDSys系统控制软件 ●尺寸1850 x 1100 x 1755(mm), 长x 宽 x 高 |
| ARDIS-100的优势： ●不锈钢腔体设计，无需内置反应室 |
| 应用领域： ●电子学 |
俄罗斯Optosystems公司 Optosystems公司位于莫斯科，隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心，雇员超过50人，Optosystems公司致力于研发和生产微波等离子化学气相沉积镀膜系统，准分子激光器，CO2激光器。其生产产品均已经获得ISO9001质量体系认证。 |
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