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1505专刊--准分子激光器紫外镀膜、光刻(俄罗斯Optosystems)











OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心,雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems的产品有准分子激光器,CO2激光器等。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。


准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。


















PLD专用准分子激光器 CL-7000PLD


特点:

金属陶瓷管材

内置能量监测和稳定装置

长寿命的开关闸流管

高脉冲能量


参数:

波长:193/248nm

脉冲能量:800mJ

最大重频:50Hz

脉宽:20~40ns


应用:

准分子激光脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,光刻,微纳加工








 






窄线宽准分子激光器 CL-7500


特点:

窄线宽准分子激光器

MOPA结构设计


参数:

波长:193/248nm

脉冲能量:250mJ

最大重频:50Hz

线宽:<3pm

脉宽:20ns


应用:

准分子激光脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,光刻,微纳加工















1KHz准分子激光器 CL-7000k


特点:

千赫兹准分子激光器

金属陶瓷管材

内置能量稳定装置

高光束指向稳定性


参数:

波长:193/248/308nm

脉冲能量:40mJ

最大重频:1000Hz

脉宽:14~20ns


应用:

准分子激光脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,光刻,微纳加工







 






4KHz准分子激光器 DC-4000


特点:

千赫兹准分子激光器

高输出功率

金属陶瓷管材

内置能量稳定装置

高光束指向稳定性


参数:

波长:193/248nm

脉冲能量:40mJ

最大输出功率:160W

最大重频:4000Hz

脉宽:17ns


应用:

准分子激光脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,光刻,微纳加工







 






紧凑型准分子激光器 CLS-5000


特点:

紧凑型准分子激光器

高重复频率

内置能量监测和稳定装置

高光束指向和位置稳定性


参数:

波长:193/248/308nm

脉冲能量:25mJ

最大重频:500Hz

脉宽:12ns


应用:

准分子激光脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,光刻,微纳加工


















脉动科技有限公司
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