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准分子激光器: CL5000

      准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

CL5000系列技术参数:

型号ArFKrFXeCl
波长193 nm248 nm308 nm
管材料陶瓷
预电离电晕处理技术
标准脉冲能量20 mJ40 mJ25 mJ
平均功率
CL 5100
CL 5200
CL 5300

2 W
4 W
5 W

4 W
7 W
10 W

2.5 W
4.5 W
6.5 W
最大重复频率
CL 5100
CL 5200
CL 5300

100 Hz
200 Hz
300 Hz
脉宽8-10 ns9-11 ns
脉冲能量稳定度sigma < 2%
光斑尺寸5 x 12 mm6 x 12 mm
光束发散角2 x 4 mrad (stable resonator)
时间抖动< 2 ns
尺寸, (重量)800L x 330W x 571H мм (80 kg)
冷却
CL 5100
CL 5200/5300
风冷
水冷(水流< 1L/min)
电源220V / 50Hz, 10А, 不超过1000 VA
气体1 premix cylinder
控制接口RS 232, DOS/Windows


可选功能:

1、1000Kz型号可选
2、窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1
3、F2,157nm型号可选


特点:      

1、陶瓷放电激光腔设计,长寿命
2、激光腔,电子系统一体化设计
3、功率稳定运行模式
4、预混合供气,使用简单
5、计算机控制

应用 :

1、准分子视力屈光矫正(LASIK)
2、准分子激光光栅光纤(FBG)刻写
3、准分子激光材料加工,微纳制造,光刻


 激光腔,电子系统一体化设计,系统紧凑


 CL5000系统机械尺寸图


 CL5000准分子激光器光斑模式图,优秀的光学模式


 基于CL5000ArF准分子激光器视力屈光矫正系统,该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有多个系统在中国安装


 准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图。准分子激光器通常采用KrF(248)


关于俄罗斯OptoSystems公司:

        俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。

资料下载:CL5000

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