准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
CL5000系列技术参数：
| 型号 | ArF | KrF | XeCl |
| 波长 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
| 管材料 | 陶瓷 | ||
| 预电离 | 电晕处理技术 | ||
| 标准脉冲能量 | 20 mJ | 40 mJ | 25 mJ |
| 平均功率 CL 5100 CL 5200 CL 5300 | 2 W 4 W 5 W | 4 W 7 W 10 W | 2.5 W 4.5 W 6.5 W |
| 最大重复频率 CL 5100 CL 5200 CL 5300 | 100 Hz 200 Hz 300 Hz | ||
| 脉宽 | 8-10 ns | 9-11 ns | |
| 脉冲能量稳定度 | sigma < 2% | ||
| 光斑尺寸 | 5 x 12 mm | 6 x 12 mm | |
| 光束发散角 | 2 x 4 mrad (stable resonator) | ||
| 时间抖动 | < 2 ns | ||
| 尺寸, (重量) | 800L x 330W x 571H мм (80 kg) | ||
| 冷却 CL 5100 CL 5200/5300 | 风冷 水冷（水流< 1L/min） | ||
| 电源 | 220V / 50Hz, 10А, 不超过1000 VA | ||
| 气体 | 1 premix cylinder | ||
| 控制接口 | RS 232, DOS/Windows | ||
可选功能：
1、1000Kz型号可选
2、窄线宽型号可选，线宽0.03cm-1
3、F2，157nm型号可选
特点：
1、陶瓷放电激光腔设计，长寿命
2、激光腔，电子系统一体化设计
3、功率稳定运行模式
4、预混合供气，使用简单
5、计算机控制
应用 ：
1、准分子视力屈光矫正（LASIK）
2、准分子激光光栅光纤（FBG）刻写
3、准分子激光材料加工，微纳制造，光刻
激光腔，电子系统一体化设计，系统紧凑
CL5000系统机械尺寸图
CL5000准分子激光器光斑模式图，优秀的光学模式
基于CL5000ArF准分子激光器视力屈光矫正系统，该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证，并有多个系统在中国安装
准分子激光器光纤光栅（FBG）刻写原理图。准分子激光器通常采用KrF(248)
关于俄罗斯OptoSystems公司：
俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科，隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心（Physics Instrumentation Center，A.M.Prokhorov’s General Physics Institute）。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统（LASIK），该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证，并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器，YAG激光器等。
