准分子激光器: CL5000
准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
CL5000系列技术参数:
型号 | ArF | KrF | XeCl |
波长 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
管材料 | 陶瓷 | ||
预电离 | 电晕处理技术 | ||
标准脉冲能量 | 20 mJ | 40 mJ | 25 mJ |
平均功率 CL 5100 CL 5200 CL 5300 | 2 W 4 W 5 W | 4 W 7 W 10 W | 2.5 W 4.5 W 6.5 W |
最大重复频率 CL 5100 CL 5200 CL 5300 | 100 Hz 200 Hz 300 Hz | ||
脉宽 | 8-10 ns | 9-11 ns | |
脉冲能量稳定度 | sigma < 2% | ||
光斑尺寸 | 5 x 12 mm | 6 x 12 mm | |
光束发散角 | 2 x 4 mrad (stable resonator) | ||
时间抖动 | < 2 ns | ||
尺寸, (重量) | 800L x 330W x 571H мм (80 kg) | ||
冷却 CL 5100 CL 5200/5300 | 风冷 水冷(水流< 1L/min) | ||
电源 | 220V / 50Hz, 10А, 不超过1000 VA | ||
气体 | 1 premix cylinder | ||
控制接口 | RS 232, DOS/Windows |
可选功能:
1、1000Kz型号可选
2、窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1
3、F2,157nm型号可选
特点:
1、陶瓷放电激光腔设计,长寿命
2、激光腔,电子系统一体化设计
3、功率稳定运行模式
4、预混合供气,使用简单
5、计算机控制
应用 :
1、准分子视力屈光矫正(LASIK)
2、准分子激光光栅光纤(FBG)刻写
3、准分子激光材料加工,微纳制造,光刻
激光腔,电子系统一体化设计,系统紧凑
CL5000系统机械尺寸图
CL5000准分子激光器光斑模式图,优秀的光学模式
基于CL5000ArF准分子激光器视力屈光矫正系统,该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有多个系统在中国安装
准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图。准分子激光器通常采用KrF(248)
关于俄罗斯OptoSystems公司:
俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。

