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红外发射显微镜系统-IREM-SIL

红外发射显微镜系统-IREM-SIL系统:

世界上分辨率最高噪音最小的红外和近红外发射显微镜系统;

       Irlabs拥有72项红外发光显微镜专利,IREM-SIL系统建立在其前身IREM-II系统的核心技术之上,集成了最灵敏的InGaAs显微镜同固体浸没透镜为一体,实现目前以及今后很长一段时间需求的深亚微米级水平的分辨率以及成像,这是前所未有的,这个系统成为世界主要半导体制造商作为集成电路的失效性分析的强有力工具。仅Intel 公司就采购过30多套IRLabs的红外发光显微镜。

指标:

A、 分辨率

1)、自有ULN成像传感器;

2)、最低噪音,最高信噪比。

相机/探测器(集成制冷系统)

说明:自有ULN成像传感器保证其成为世界范围内最高信噪比相机;

镜片:无与伦比的精度保证了业界最好的光学质量

1、 光谱范围1um-1.6um

2、 0.3 macro lens 1x, 10x, 20x, 25x, 100x, LIO, SIL,和其它放大;

3、 高分辨率(<150nm

B、 重复性

1)、8

2)、超低parcentricity error确保精确定位(<1.5um)。

C、 可靠性

1)、正常工作时间>97%世界范围内

2)、一致性数据

其它部件:

镜头滑动座
1、目前分辨率:100nm
2、快速,精确的静态图像平移
3、镜片及其它部件更换时,运动学设计保证精确的偏移值
4、镜片更换前后成像一致性
5、镜头滑动座高速移动
6、可升级
 

移动控制系统
1、8轴保证了最高的定位稳定性和最低的长期漂移
2、超低偏移误差保证精确定位
 

为了实现生产测试测量应用中要求的对成像传感器透射照明或者将传感器安装在中心位置,特别设计了X-Y-Z stage 

辅助电子系统
1、 高速、高重复性运动控制以提升偏移误差
2、 恒流源确保日重复成像一致性
3、 照明选择的全软件控制
 

AIRIS先进的红外辐射成像软件完全支持IREM-SIL系统
1)、立足于14年的IREM专业知识和客户需求而设计
2)、图像处理功能基于最初在天文应用上设计研发
3)、用于提高空间分辨率和定位的算法同时优化了信噪比以及平场精确(有利于实时成像)
4)、软件能够被很好的集成到硬件操作中,确保产生最佳效果
功能:
1、显示和成像
2、导航
 

关于美国Infrared  Laboratories公司

      美国Infrared  Laboratories公司简称IRLabs,超过45年的红外领域创新工作,IRLabs是红外成像和探测方面的领导者,为全球34个国家350研究所和机构提供红外测试设备以及服务,解决其在天文学、物理学、化学和航空研究等领域遇到的挑战,到目前为止已经制造超过四千个开环系统和闭环系统,其中有上百个抑制背景噪声的成像系统,探测宇宙最微弱的信号。

       IRLabs公司主要产品有红外发射显微镜系统-IREM-SIL系统、Bolometer辐射热测量计、红外杜瓦、Winston锥、客户定制系统。

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