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准分子激光器:CLS-5000

CLS-5000系列主要特点:

非常高的光束指向稳定性

高重复频率

能量稳定性好

设计紧凑
内置能量控制

带磁转换发生器



CLS-5000系列技术参数:


ArFKrFXeCl
波长193  nm248  nm308  nm
最大重复频率从500  Hz
最大脉冲能量15  mJ25  mJ12  mJ
能量稳定性sigma  < 2%
光束尺寸 (V x H) 6  mm x 3,5 mm6  mm x 4 mm6  mm x 4 mm
光束发散角 (V x  H) 2  mrad x 1 mrad
脉宽 11  ns12  ns12  ns
产品尺寸(长**高)887mm  х 336mm х 454mm
重量85KG
功耗220V,  50Hz, 1kW
冷却water  < 1 liter/min
气体1  premix cylinder
操作系统RS  232, Windows





关于俄罗斯OptoSystems公司:

          俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。


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