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准分子激光器:CL 7700

准分子激光器:CL 7700


     准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

CL 7700
技术参数

激光介质

ArF

KrF

波长 (nm)

193

248

最大脉冲能量 (mJ)

400

750

最大重复频率 (Hz)

СL 7720

20

CL 7750

50

最大平均功率 (W)

СL 7720

7

15

CL 7750

14

35

脉冲能量稳定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

28 х 10

光束发散角(FWHM, mrad, VхH)

4.5 х 2

脉冲持续时间 (FWHM, ns)

20

30

冷却方式

水冷

重量 (kg)

190

尺寸 (LхWхH, mm)

1430 х 380 х 760

电源

220/380 V, 50 Hz,  < 3500 VA


CL 7700
主要特点:
高脉冲能量

闸流管开关

功率稳定运行模式

内置的能量检测器

预混料气体,使用简单

计算机控制

应用:

材料加工

激光剥离

脉冲激光沉积技术


关于OptoSystems公司:

       OptoSystems公司雇员超过40人,最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。

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