准分子激光器:7X200
准分子激光器:7X200
准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
7X200技术参数:
波长 (nm) | 248 |
最大脉冲能量 (mJ) | 1000 |
最大重复频率(Hz) | 200 |
最大平均功率 (W) | 150 |
脉冲能量稳定度(sigma, %) | < 1.0 |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 36 x 17 (± 2) |
光束发散角(FWHM, mrad, VхH) | < 3.5 x 1.10 |
脉冲持续时间 (FWHM, ns) | 30 |
冷却方式 | 水冷 |
重量 (kg) | 750 |
尺寸 (LхWхH, mm) | 2300 x 750 x 1200 |
电源 | 380/220 V, 50/60 Hz, <1000 VA |
7X200主要特点:
高脉冲能量
高平均功率
高压固态开关
功率稳定运行模式
内置的能量检测器
内置能量无油真空泵与卤素过滤器
预混料气体,使用简单
计算机控制
应用:
脉冲激光沉积技术
准分子激光退火
关于OptoSystems公司:
OptoSystems公司雇员超过40人,最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。
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