准分子激光器:DC-4000
准分子激光器:DC-4000
DC-4000系列主要特点:
重复频率最高到 4 kHz
输出功率最高160W
金属陶瓷设计
半导体开过
使用寿命长
能量稳定性好
DC-4000系列技术参数:
ArF | KrF | |
波长 | 193 nm | 248 nm |
脉冲能量 | 20 mJ | 40 mJ |
最大重复频率 | 4000 Hz | |
平均功率@20 Hz | 80 W | 160 W |
脉宽 | 17 ns | |
脉冲能量稳定性 | sigma < 2% | |
光束大小 (V x H) | 14 mm x 2.5 mm | |
光束发散角 (V x H) | 3.5 mrad x 1 mrad | |
时间抖动 | < 2 ns | |
产品尺寸(长*宽*高) | 1360mm x 640mm x 520mm | |
重量 | 360kg | |
冷却 | water < 3 liter/min | |
功耗 | 380/220V, 50Hz, 7kW | |
气体 | 1 premix cylinder | |
操作系统 | RS 232, Windows |
关于俄罗斯OptoSystems公司:
俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。
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