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Smart Print-无掩模光刻

Smart Print-无掩模光刻系统

法国Microlight3D公司成立于2016年,一家专业提供微米纳米级3D微打印及无掩模光刻系统的公司

Microlight3D公司是唯一一家将亚(500ps激光器用于商业化3D纳米打印系统、投影仪系统的公司。与传统飞秒激光相比,亚纳秒激光器尤其Microligth3D公司采用的microchip激光器体积更为小巧,具有长而高能的脉冲,可以实现更高效的聚合过程,满足纳米级(200nm)分辨率的同时具有更高的性价比。

其他任何3D打印流程一样,Microlight 3D同样以双光子聚合、激光直写为基础兼容生物打印和组织工程该流程从3D模型开始特有算法计算激光将遵循的打印路径以便打印物体,然后聚焦激光在液体材料浴中固化指定位置,亚微米分辨率。激光器的自由移动允许制造部件而没有典型的增材制造的逐层限制。打印完成后,用溶剂浴洗掉多余的单体。Smart Print-无掩模光刻系统

Smart Print

Smart Print是一款基于μLCD投射技术的无掩模光刻技术。Smart Print适用于大多数的感光胶和基底,因此可以产生任何微米级分辨率的2D形状而无需实体的掩模版。

Smart-Print主要参数

光源

曝光光源435nm(准直光源525nm)

最小特征尺寸

2-23um可调

基底尺寸

最大4wafer

最大直写区域

75 x 75 mm2

系统尺寸

W:36cm  D:36cm  H:60cm

电脑和屏幕

Win10, 64

Smart-Print关键特点

--打印分辨率低至2μm

--通过更换物镜,可以调节打印大小尺寸和分辨率

--可以兼容CAD格式文件和bitmap图像

--可以通用g-line感光胶

--适合于大多数基底材料,硅,玻璃,金属,塑料

--适合于最大4‘’英寸的衬底盘片

--CCD视觉系统以方便各个步骤调试

Smart-Print系统优点

--无需实体掩模版,因此节省大量的制造掩膜模时间和费用

--桌面型系统,占地小

--特别适合微电子器件,2D材料,微流控,光电子器件,光学和任何2D微纳制造应用

Smart-Print系统附件和选件

--多种样本夹具(玻璃slide, 4’’基片等)
--手动或者电动的Z轴位移台

--手动360度转台

--物镜组合

Smart-Print典型应用

关于法国Microlight公司:

法国Microlight3D公司成立于2016年,一家专业提供微米纳米级3D微打印及无掩模光刻系统的公司

Microlight 3D公司系统以双光子聚合、激光直写为基础兼容生物打印和组织工程,公司将(500ps激光器用于商业化3D纳米打印系统、投影仪系统,传统飞秒激光相比,亚纳秒激光器尤其Microligth3D公司采用的microchip激光器体积更为小巧,具有长而高能的脉冲,可以实现更高效的聚合过程,满足纳米级(200nm)分辨率的同时具有更高的性价比。

Microlight3D公司可根据客户的材料,硬件和制造程序插件定制其3D微打印系统。该公司的打印系统已在全球销售,并已在欧洲,美国,中国,新加坡和台湾等区域实现多台售出。Microlight3D已赢得多个奖项,并且未来有很多目标。该公司计划在今年11月推出新产品,并进一步发展其技术。它旨在实现更快的写入速度,这将使更大的微观物体,以及提高精度,体积和表面平滑度,并扩大已经大量的兼容材料。软件改进也在进行中,以实现更复杂的设计和管理更大的文件

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Smart-Print


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